詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
合肥廬陽(yáng)貼合機(jī)真空泵-單級(jí)真空泵報(bào)價(jià)運(yùn)行持久
合肥廬陽(yáng)貼合機(jī)真空泵-單級(jí)真空泵報(bào)價(jià)運(yùn)行持久 (1)應(yīng)定期檢查油位是否低干油標(biāo)線。如低干油標(biāo)線,應(yīng)及時(shí)加油,否則.會(huì)影響真空泵的真空度。油量也不宜過(guò)多,否則會(huì)引起起動(dòng)困難,噴油等問(wèn)題, (2)應(yīng)經(jīng)常注意真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常,有無(wú)特殊聲響,機(jī)是否**負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn),電機(jī)積真空泵的溫開(kāi)是否過(guò)高等; (3) 用水冷卻的真空泵,應(yīng)防止冷卻水中斷,真空泵溫不得**過(guò)70度。若環(huán)境溫度低干5度,停機(jī)后應(yīng)將真空泵內(nèi)冷卻水放
【旋片式真空泵生產(chǎn)廠家】旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)原理是什么?
旋片式真空泵:定義泵內(nèi)偏心安裝的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切,兩個(gè)(或以上)旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)(通常為徑向)并與定子內(nèi)壁相接觸,將泵腔分為幾個(gè)可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵。通常,旋片與泵腔之間的間隙用油來(lái)作為密封,所以旋片真空泵一般是油封式機(jī)械真空泵。一、旋片式真空泵結(jié)構(gòu):旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過(guò)高的,對(duì)金屬有腐蝕性的、
山東臨沂沂南硫化機(jī)真空泵-旋片真空泵型號(hào)廠家供應(yīng)
山東臨沂沂南硫化機(jī)真空泵-旋片真空泵型號(hào)廠家供應(yīng) (1)應(yīng)定期檢查油位是否低干油標(biāo)線。如低干油標(biāo)線,應(yīng)及時(shí)加油,否則.會(huì)影響真空泵的真空度。油量也不宜過(guò)多,否則會(huì)引起起動(dòng)困難,噴油等問(wèn)題, (2)應(yīng)經(jīng)常注意真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常,有無(wú)特殊聲響,機(jī)是否**負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn),電機(jī)積真空泵的溫開(kāi)是否過(guò)高等; (3) 用水冷卻的真空泵,應(yīng)防止冷卻水中斷,真空泵溫不得**過(guò)70度。若環(huán)境溫度低干5度,停機(jī)后應(yīng)將真空泵內(nèi)冷卻
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