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光柵尺的概念


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  • 詞條

    詞條說明

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  • 用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。

    nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm,編碼器分辨率為0.1nm,定位精度為±2nm。10小時以上定位穩(wěn)定性達(dá)到1nm。

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