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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地低于極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
普旭真空泵使用說明:?????新泵安裝就位后先查看油位,齒輪側油位以油面浸沒3-5齒為宜,電機側以油窗中心略高為宜,軸伸上油杯不應缺油,各部位潤滑油均采用1號真空泵油。?????1、真空泵啟動程序:?????(1)啟動前級泵。??
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。4、一般供應的電動機不防爆,如要求防爆或其它
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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