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【單級(jí)旋片真空泵故障】診斷舉例1、單級(jí)旋片真空泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動(dòng)和不能盤動(dòng)。A、泵能盤動(dòng)而不轉(zhuǎn)。原因可以是聯(lián)軸器故障;皮帶打滑;電機(jī)接線有誤;電機(jī)損壞;電源沒電等。B、不能盤動(dòng)或盤起來很重的,原因可以是因?yàn)槠饎?dòng)泵溫太低,泵油粘度太高;設(shè)計(jì)制造原因的停泵返油太多。? ? ?油位太高引起的停泵返油太多(加油太多,或有水汽在泵中凝結(jié),或在排
泵軸軸承位磨損真空泵傳動(dòng)部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補(bǔ)焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補(bǔ)焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無法完全消除,易造成材質(zhì)損傷,導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,*剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬,無法改變“硬對(duì)硬”的配合關(guān)系,在各力綜合作用下,仍會(huì)造成再次磨損。當(dāng)代西方國家針對(duì)以上問題多使用高分子復(fù)合
旋片式真空泵維修方法:1、在進(jìn)行真空泵維修之前,準(zhǔn)備好檢測手段。2、判斷故障,確診故障。判斷準(zhǔn),可省事。確診要驗(yàn)證。3、排除故障,先簡后繁,先易后難。無須拆卸的不拆。真空泵機(jī)組以減少由于缺少**工具和操作不當(dāng)引起新的損傷,減少變化和跑合運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。一般的說,拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的,否則形位公差就不保,轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵,應(yīng)請(qǐng)用戶**清洗,并告知必要的防護(hù)措施,以**維修人員的健
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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