詞條
詞條說(shuō)明
XD旋片真空泵的安裝操作1、XD型旋片式真空泵的安裝XD型旋片式真空泵應(yīng)水平安放。同于泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)幾乎沒有振動(dòng)一般可不固定。XD旋片式真空泵底部減振墊塊上有公制螺孔用以固定泵,不要在地面上推拉泵,以免損壞減振墊塊。為保證XD旋片式真空泵得到良好的冷卻,泵冷卻空氣進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口應(yīng)距周圍物體30cm以上。為便于維修,建議在XD旋片式真空泵進(jìn)氣口和排氣口前留0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。X
如何使用讓旋片式真空泵較好的操作(1)使用旋片式真空泵前,按油標(biāo)指示刻度加入真空泵油。旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與大氣相通,而與被抽空容器隔絕,打開排氣口。(2)用手轉(zhuǎn)動(dòng)皮帶輪,檢查運(yùn)轉(zhuǎn)情況,無(wú)異常情況后,再接通電源,注意轉(zhuǎn)動(dòng)方向。(3)泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常后.緩慢旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。(4)停止使用泵時(shí),欲保持真空系統(tǒng)有一定的真空度,應(yīng)旋轉(zhuǎn)三通閥,使真空系統(tǒng)封閉,泵的吸氣管與
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵維護(hù)與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔,防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。?2.泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中,油箱內(nèi)的存油量不得油標(biāo)中心。?3.不同種類和牌號(hào)的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí),應(yīng)盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場(chǎng)地。?5.泵由于存放或使用不當(dāng),水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)而影響真空時(shí),可開氣
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