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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片真空泵羅茨泵 從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占**羅茨泵銷售額的比例都沒**過5%,這5家總計才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在**國內(nèi)市場基
真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到佳配置,選擇真空系統(tǒng)時,?應考慮下述各點:確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應安裝在干燥、通風良好和清潔的場所。?????(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應水平安裝,其周圍應留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養(yǎng)。裝拆方便。???&n
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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