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詞條說明
旋片式真空泵的介紹旋片真空泵是以泵為主泵,以旋片真空泵為前級(jí)泵的串聯(lián)而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級(jí)泵,因此它克服了旋片真空泵在使用時(shí)一定壓力下的抽氣速率低的缺點(diǎn),并且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速的工作,優(yōu)點(diǎn)有比較大抽氣速率等。因?yàn)樾婵毡玫慕Y(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小,所以可以替代多臺(tái)機(jī)械式真空泵,因此旋片真空泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽,電真空半導(dǎo)體等
????真空泵的故障及排除方法:?????1?故障現(xiàn)象:泵的抽氣量不夠?????產(chǎn)生原因;?????(1)真空泵的轉(zhuǎn)速不夠;?????(2)密封不嚴(yán),
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
移動(dòng)真空負(fù)壓站的作用:真空負(fù)壓站(又名真空發(fā)生裝置、真空泵站等)是以旋片真空泵作為真空獲得設(shè)備,以真空罐作為真空存儲(chǔ)設(shè)備的全自動(dòng)真空度控制成套系統(tǒng)。對(duì)于頻繁使用真空源而所需抽氣量不太大的場(chǎng)合下,該系統(tǒng)比直接使用真空泵大大節(jié)約了能源,并有效提高了真空泵的使用壽命。目前這種泵已普遍應(yīng)用于各類食品的真空包裝、橡膠和塑料工業(yè)的真空吸塑成型、印刷工業(yè)的紙張輸送、各類鑄件的真空浸漬防漏、真空夾具、真空干燥、真
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