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【單級旋片式真空泵】真空泵系統(tǒng)的基本要求都是有哪些
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
泵軸軸承位磨損真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無法完全消除,易造成材質(zhì)損傷,導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,容易剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬,無法改變“硬對硬”的配合關(guān)系,在各力綜合作用下,仍會造成再次磨損。當(dāng)代西方國家針對以上問題多使用高分子復(fù)合
常見的進口真空泵的優(yōu)點有哪些(1)往復(fù)真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵是靠活塞往復(fù)運動或旋轉(zhuǎn)將氣體吸入、壓縮并排出。它們的優(yōu)點是新投入使用的泵真空度相對比較高,但是活塞是運轉(zhuǎn)部件,因此活塞的磨損是避免不了的,隨著檢修次數(shù)的增加工作真空度將不斷下降,直至滿足不了生產(chǎn)的要求。此類泵工作噪音大,耗油量大,故障率高也是其致命的缺點,一般都需要開一臺備用一臺,這無形中增加了設(shè)備投資與運行費用。另外
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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