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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動(dòng)和不能盤動(dòng)。2.泵溫太高。指低級(jí)排氣閥附近測得的高油溫**過使用說明書值。由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件*老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進(jìn)氣溫度太高,
【上海醫(yī)院負(fù)壓真空泵】真空機(jī)組的設(shè)計(jì)條件與設(shè)計(jì)步聚
1)真空機(jī)組的設(shè)計(jì)條件①真空室的已知參數(shù):真空室的體積;放氣的表面積;真空室的漏氣量;工作真空度;真空度;預(yù)抽時(shí)間和達(dá)到真空的抽氣時(shí)間等。②真空室內(nèi)的氣體源情況:真空室內(nèi)的大氣;真空室內(nèi)表面放氣;真空室的動(dòng)密封處、靜密封處的漏氣;殼體滲透氣體;被處理材料放出的氣體;工藝過程需要而引入的氣體。③真空室內(nèi)的特殊要求:工藝過程中是否產(chǎn)生塵灰、金屬噴濺、腐蝕性氣體、水蒸氣等;真空室內(nèi)是否要求無油、無振動(dòng)等
【真空泵的介紹及保養(yǎng)】真空泵的產(chǎn)片介紹及維護(hù)保養(yǎng)方法
產(chǎn)品優(yōu)勢1、**命葉片2、低噪音水平3、易維護(hù)4、能忍受較高水蒸氣5、保養(yǎng)周期長產(chǎn)品特點(diǎn)1、低噪音,低震動(dòng),工作環(huán)境不會(huì)受影響?。2、內(nèi)置高效油霧過濾器,所排出的氣體不含油霧。????????????????? 
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