【雕刻機(jī)真空泵】旋片式真空泵的維護(hù)與保養(yǎng)

時(shí)間：2021-09-22作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：84

上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司專注于上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司等

• 詞條

  詞條說明

• 【上海大流量真空泵】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

• 【普旭真空泵使用說明】真空泵啟動(dòng)程序

  【普旭真空泵使用說明】真空泵啟動(dòng)程序新泵安裝就位后先查看油位，齒輪側(cè)油位以油面浸沒3-5齒為宜，電機(jī)則以油窗中心略高為宜，軸伸上油杯不應(yīng)缺油，各部位潤滑油均采用1號(hào)真空泵油。真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中不應(yīng)有不規(guī)則的異常振動(dòng)和異常噪聲。?如發(fā)現(xiàn)真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中有電機(jī)過載，溫升過高，聲音異常，振動(dòng)大等情時(shí)況，應(yīng)立即停機(jī)檢查原因，排除故障。

• 使用真空泵的注意事項(xiàng)

  使用真空泵的注意事項(xiàng)1.?正常運(yùn)傳前，真空泵應(yīng)先做一次試運(yùn)轉(zhuǎn)，檢查真空泵有無異常振動(dòng)及沖擊聲響。初次使用的真空泵還要測定真空泵的極限壓強(qiáng)，應(yīng)符合技術(shù)規(guī)范。真空泵在*工作的條件下，真空泵溫不應(yīng)**過70度。至于抽速的測定.由于比較復(fù)雜，一般不作檢查。2.?需要通冷卻水的機(jī)械真空泵.在開機(jī)前應(yīng)先通冷卻水，然后再啟動(dòng)。冷卻水的出口水溫不宜**過30度。3.?*安裝真空泵時(shí)，應(yīng)檢

• 【大流量真空泵】普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn)

  普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn)：?????（1）運(yùn)轉(zhuǎn)中必須按照羅茨真空泵的技術(shù)規(guī)格使用，在正常情況下，羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下，泵的大壓差不得**其大允許壓差值。?????（2）注意電動(dòng)機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升，在正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況下，泵的高溫升不得**過40℃，高溫度不得**過80℃。如果選用水環(huán)泵作