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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵油和潤滑油的區(qū)別:1、真空泵油具有一定的粘度,粘度的高低決定了真空泵的密封性,粘度的過小,密封性則不好;粘度過高,會(huì)加大泵內(nèi)葉片與缸體的摩擦力度,潤滑作用就會(huì)變差,同時(shí),轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)將會(huì)變得困難,電機(jī)的壓力將會(huì)變高,油溫也會(huì)越來越高。油溫的升高會(huì)加速泵油的乳化呈度,真接影響真空度的高低。2、真空泵油的化學(xué)性質(zhì)趨于穩(wěn)定,水分、水溶酸、不溶堿和其它雜質(zhì)的含量要小的多的多,使用油能效的辟免多次換真空
XD旋片式真空泵概述XD單級旋片式真空泵為單級聯(lián)軸式結(jié)構(gòu),它的工作性能是高轉(zhuǎn)速,低噪聲,抽速快,效率高,泵只需空氣冷卻,有防返油結(jié)構(gòu),防止泵油返入被抽系統(tǒng),泵內(nèi)裝有排氣過濾器,有效消除油霧,運(yùn)轉(zhuǎn)平衡,振動(dòng)小,可以在任意壓強(qiáng)下工作。技術(shù)參數(shù)2×10-2,已普遍適用食品真空包裝,醫(yī)藥、印刷機(jī)械紙張輸送,玻璃工業(yè)輸送,真空夾具,干燥等單位的使用。.不能抽除易燃、易爆、含氧量高的、腐蝕性氣體。如連續(xù)長時(shí)間
真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用:是在排氣發(fā)生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣,以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力,當(dāng)它**泵溫下的飽和蒸汽壓時(shí),即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結(jié)在泵油中。另外,當(dāng)密閉泵口運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),已混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結(jié)物或氣相就會(huì)溶于油中的物質(zhì),又會(huì)在泵腔內(nèi)從油中逸出,這時(shí)如果開氣鎮(zhèn)工作,也可抽除一定量的可凝性物質(zhì),從而起到一定凈化作用,延長泵油的使用期。在結(jié)構(gòu)上,氣鎮(zhèn)閥有一逆止閥,防止排氣時(shí)油
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