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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵維修常見的問題及方法:泵軸軸承位磨損真空泵傳動(dòng)部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補(bǔ)焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補(bǔ)焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無法完全消除,易造成材質(zhì)損傷,導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,容易剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬,無法改變"硬對(duì)硬"的配合關(guān)系,在各力綜合作用下,仍會(huì)造成再次磨損。當(dāng)代西方國家
【真空泵廠家】單級(jí)旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)
單級(jí)旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)較簡單,使用方便,能從大氣壓力下起動(dòng),可直接排入大氣,偏心質(zhì)量較小,維護(hù)簡便,雙級(jí)泵的極限壓力為6×10-2~1×10-2Pa,一種單級(jí)泵可達(dá)4Pa左右,另一種單級(jí)泵為50~200Pa左右。?旋片式真空泵是工業(yè)應(yīng)用較廣泛的一種機(jī)型,由于進(jìn)口真空泵的價(jià)格高昂,并且進(jìn)口真空泵維修及保養(yǎng)費(fèi)用也貴,廣東大路通引進(jìn)了一系列**的技術(shù)與設(shè)備已生產(chǎn)出費(fèi)用低,真空泵維修費(fèi)用低的國產(chǎn)
普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn)
普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn):?????(1)運(yùn)轉(zhuǎn)中必須按照羅茨真空泵的技術(shù)規(guī)格使用,在正常情況下,羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下,泵的大壓差不得**其大允許壓差值。?????(2)注意電動(dòng)機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升,在正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況下,泵的高溫升不得**過40℃,高溫度不得**過80℃。如果選用水環(huán)泵作
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