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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
1升與2升的真空泵抽真空有什么分別一、特點不同1、雙級真空泵特點:前級泵轉(zhuǎn)子上的葉片槽采用了斜葉片槽,相鄰兩片葉片(轉(zhuǎn)子和泵體)形成的大封閉工作空間增大,提高了抽真空速度。前真空泵后,后真空泵串聯(lián)。前真空泵內(nèi)有害空間氣體被后真空泵*吸入,提高抽氣的極限真空度。2、單級真空泵特點:吸氣口安裝有金屬絲網(wǎng)的粗過濾器。它可以防止固體顆粒被吸入泵室。油分離器配有一個高效的油氣分離排氣轉(zhuǎn)換開關(guān)。當泵停止時,
滑閥泵排氣過濾器的安裝過程如下:1.?先在總成上面安裝過濾器壓力表,壓力表可以實時監(jiān)控真空泵的壓力,同時也可以通過數(shù)據(jù)知道什么時候應(yīng)該換濾芯了。2.?壓力表安裝完成后就到了貼標簽的環(huán)節(jié),也是一個小小的說明書以及溫馨提醒哦,用戶在使用**定要認真閱讀。3.?第三步就是安裝初效濾芯啦,初效濾芯捕捉油霧大顆粒,將小顆粒留給高效濾芯,延長高效的壽命。4.?初濾芯安裝
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
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