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詞條說明
旋片式真空泵的介紹旋片真空泵是以泵為主泵,以旋片真空泵為前級泵的串聯(lián)而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片真空泵在使用時一定壓力下的抽氣速率低的缺點,并且同時保留了羅茨泵能迅速的工作,優(yōu)點有比較大抽氣速率等。因為旋片真空泵的結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小,所以可以替代多臺機械式真空泵,因此旋片真空泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽,電真空半導(dǎo)體等
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。2.泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的高油溫過使用說明書值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進(jìn)氣溫度太高,進(jìn)氣冷
按性能特點和用途分類(1)低真空泵泵的壓力102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機械真空泵等。(3)高真空泵壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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