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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
如何使用讓旋片式真空泵更好的操作(1)使用旋片式真空泵前,按油標指示刻度加入真空泵油。旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與大氣相通,而與被抽空容器隔絕,打開排氣口。(2)用手轉(zhuǎn)動皮帶輪,檢查運轉(zhuǎn)情況,無異常情況后,再接通電源,注意轉(zhuǎn)動方向。(3)泵運轉(zhuǎn)正常后.緩慢旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。(4)停止使用泵時,欲保持真空系統(tǒng)有一定的真空度,應旋轉(zhuǎn)三通閥,使真空系統(tǒng)封閉,泵的吸氣管與
真空泵保養(yǎng)操作:維護時間表真空泵維護時間間隔根據(jù)每個客戶工作環(huán)境而定。您可以根據(jù)您的實際使用狀況,縮短維護時間間隔,尤其是灰塵大的工作環(huán)境。Ⅰ?每日需要維護事項:檢查油位及油的顏色。Ⅱ?每星期需要維護事項:檢查真空泵是否漏油。Ⅲ?每月需要維護事項:檢查排氣過濾器的功能,必要時請清洗或更換進氣過濾器。Ⅳ?每6個月需要維護事項:檢查真空泵泵腔是否有灰塵、污垢、積
真空泵的故障及排除方法:?????1?故障現(xiàn)象:泵的抽氣量不夠?????產(chǎn)生原因;?????(1)真空泵的轉(zhuǎn)速不夠;?????(2)密封不嚴,在進氣管路的連接處或軸封處漏氣;?&n
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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網(wǎng) 址: lll622814.cn.b2b168.com
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