【工業(yè)真空泵】XD型單級(jí)旋片式真空泵的優(yōu)點(diǎn)

時(shí)間：2021-09-30作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：69

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• 【上海旋片真空泵】真空泵操作須知

  【上海旋片真空泵】真空泵操作須知1、旋片真空泵在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)中產(chǎn)生高溫（40度-80度）。因此操作或停止運(yùn)行后，在電機(jī)和泵體冷卻到正常溫度以前，不能觸摸表面。2、工作時(shí)發(fā)生緊急情況，立即關(guān)閉總電源后保修解決。3、設(shè)備若異常應(yīng)立即停止運(yùn)行，禁止強(qiáng)灌，持續(xù)工作。4、非維修人員嚴(yán)禁拆卸真空泵零部件。5、維護(hù)保養(yǎng)設(shè)備所使用的布條碎布等集中放置到規(guī)定的堆放地點(diǎn)，防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。真空系統(tǒng)是指由真空泵、真空計(jì)及

• 【旋片式真空泵廠家】XD系列真空泵的安裝方法

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  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

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  【XD旋片真空泵結(jié)構(gòu)】真空泵介紹XD系列真空泵為單級(jí)旋片式機(jī)械真空泵，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作容易，維護(hù)方便，是一種使用范圍廣泛的獲得真空的基本設(shè)備。它的工作原理與一般容積泵相同，是由一個(gè)與傳動(dòng)軸同心安裝而在泵體內(nèi)處于偏心位置的轉(zhuǎn)子組成，轉(zhuǎn)子上有三個(gè)徑向滑動(dòng)的葉片，將泵腔分隔成三個(gè)工作室，被抽氣體自吸氣口進(jìn)入，通過打開的逆止閥與過濾網(wǎng)進(jìn)入泵室，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，完成吸氣的工作室自行與進(jìn)氣口隔離并將氣體壓縮和通過