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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵散熱油管堵塞疏通及日常維護方法:1、找一個干凈的托盤,內(nèi)倒入足夠量的干凈水,添加入洗滌劑(不可使用腐蝕性洗滌劑)。2、將真空泵散熱油管從真空泵中拆卸下來,用風(fēng)槍對準(zhǔn)一頭的管孔,不管能不能吹出臟物,此步可間斷性操作。3、頭幾次會吹出多的臟物,等吹到?jīng)]有多少東西出來時,將散熱油管置于溶解洗滌劑的托盤內(nèi)浸泡4-6h。4、在浸泡的過程中,可適當(dāng)?shù)陌凑斩氯闆r多次拿出用風(fēng)槍對準(zhǔn)管口吹。5、浸泡完后再次
旋片真空泵的使用方法1、使用前,應(yīng)仔細閱讀產(chǎn)品使用說明書,開箱后應(yīng)檢查裝運質(zhì)量,收好備品備件和技術(shù)文件,拆除排氣品防護件。按要求安裝,接線,試轉(zhuǎn)向。水泠泵接水。2.為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油,應(yīng)先開啟泵口,按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中,同時查看油位,應(yīng)在油標(biāo)中心以上,但不要滿油標(biāo),多了要放3、判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法,把護套倒放在家口上,如開系后被吸住,是正向,被攻落,是發(fā)向,聲音正常是正向,聲音異
普旭真空泵運轉(zhuǎn)中的注意點:?????(1)運轉(zhuǎn)中必須按照羅茨真空泵的技術(shù)規(guī)格使用,在正常情況下,羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下,泵的大壓差不得**其大允許壓差值。?????(2)注意電動機負荷和泵的各部位溫升,在正常運轉(zhuǎn)情況下,泵的高溫升不得**過40℃,高溫度不得**過80℃。如果選用水環(huán)泵作
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com
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