詞條
詞條說明
1、機械密封裝置;(1)動環(huán)和靜環(huán)表面須光潔,不得有任何劃傷,密封面的平面度保持 在0.87um之內(nèi)。(2)水環(huán)真空泵密封裝置處軸的徑向跳動應(yīng)小于0.03mm。(3)彈簧無裂紋、銹蝕等缺陷,彈簧兩端面與中心線的垂直度偏差應(yīng)小于5/1000,同一機械密封中各彈簧之間的自由高度差不大于0.5mm。(4)動環(huán)和靜環(huán)密封端面的瓢偏應(yīng)不大于0.02mm,兩端面的不平行度應(yīng)不大于0.04mm。2、 浮動環(huán)密封
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。2.泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的較高油溫過使用說明書值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進氣溫度太高,
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
【真空泵單級旋片式真空泵】產(chǎn)品特點1、單級旋片真空泵低噪音,低震動,工作環(huán)境不會受影響 。2、旋片式真空泵內(nèi)置高效油霧過濾器,所排出的氣體不含油霧。3、采用風(fēng)冷卻,但較大型的真空泵配有冷卻風(fēng)管,利用風(fēng)扇將風(fēng)管內(nèi)的潤滑油冷卻,提高冷卻效果。4、抽風(fēng)量強勁,極限真空可達到0.01mbar(1Pa)。5、內(nèi)置止回閥及氣鎮(zhèn)閥,可避免停機后泵逆轉(zhuǎn)而造成油逆流及避免高真空環(huán)境下,空氣所含水氣經(jīng)壓縮凝結(jié)成水點,
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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