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詞條說明
潤滑油在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì),還對機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤滑、冷卻和密封作用。這是真空泵油的較重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤滑油,對于擴(kuò)散真空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。真空泵不斷向高速度發(fā)展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很容易氧化分解,尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的
如何使用讓旋片式真空泵好的操作(1)使用旋片式真空泵前,按油標(biāo)指示刻度加入真空泵油。旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與大氣相通,而與被抽空容器隔絕,打開排氣口。(2)用手轉(zhuǎn)動皮帶輪,檢查運(yùn)轉(zhuǎn)情況,無異常情況后,再接通電源,注意轉(zhuǎn)動方向。(3)泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常后.緩慢旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。(4)停止使用泵時(shí),欲保持真空系統(tǒng)有一定的真空度,應(yīng)旋轉(zhuǎn)三通閥,使真空系統(tǒng)封閉,泵的吸氣管與大
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵的操作1、開機(jī)前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤滑油不可太多,亦或太少,不足時(shí)應(yīng)補(bǔ)充。禁止混用不同牌號的潤滑油,補(bǔ)充潤滑油時(shí),應(yīng)確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒有壓力時(shí),方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測試電壓是否準(zhǔn)確,電源是否無誤。?2、試車、開機(jī)與停機(jī)試車1.關(guān)閉進(jìn)氣口。2.點(diǎn)動電機(jī)檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向,如旋轉(zhuǎn)方向不對,則對調(diào)三相電源中的任意兩相。開機(jī)1.打開進(jìn)氣口。2.合上電源
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