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詞條說明
【國(guó)產(chǎn)真空泵】使用真空泵的注意事項(xiàng)
使用真空泵的注意事項(xiàng)1.?正常運(yùn)傳前,真空泵應(yīng)先做一次試運(yùn)轉(zhuǎn),檢查真空泵有無異常振動(dòng)及沖擊聲響。初次使用的真空泵還要測(cè)定真空泵的極限壓強(qiáng),應(yīng)符合技術(shù)規(guī)范。真空泵在*工作的條件下,真空泵溫不應(yīng)**過70度。至于抽速的測(cè)定.由于比較復(fù)雜,一般不作檢查。2.?需要通冷卻水的機(jī)械真空泵.在開機(jī)前應(yīng)先通冷卻水,然后再啟動(dòng)。冷卻水的出口水溫不宜**過30度。3.?*安裝真空泵時(shí),應(yīng)檢
【真空泵廠家】真空泵及電機(jī)溫度高的原因分析及對(duì)策
電機(jī)溫度高原因分析(1)電機(jī)功率大,工作電流大,發(fā)熱量大。(2)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)壓,風(fēng)量小。(3)風(fēng)扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風(fēng)量小。(4)電動(dòng)機(jī)附有灰塵、油污,降低了散熱能力。(5)真空泵電機(jī)所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均,電機(jī)實(shí)際所加電壓只有365V,電壓偏低造成運(yùn)行電流大。對(duì)策電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的,不能改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上,電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速,也不可換。增加風(fēng)
真空泵的操作1、開機(jī)前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤(rùn)滑油不可太多,亦或太少,不足時(shí)應(yīng)補(bǔ)充。禁止混用不同牌號(hào)的潤(rùn)滑油,補(bǔ)充潤(rùn)滑油時(shí),應(yīng)確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒有壓力時(shí),方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測(cè)試電壓是否準(zhǔn)確,電源是否無誤。?2、試車、開機(jī)與停機(jī)試車1.關(guān)閉進(jìn)氣口。2.點(diǎn)動(dòng)電機(jī)檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向,如旋轉(zhuǎn)方向不對(duì),則對(duì)調(diào)三相電源中的任意兩相。開機(jī)1.打開進(jìn)氣口。2.合上電源
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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