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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到佳配置,選擇真空系統(tǒng)時,?應(yīng)考慮下述各點:確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因
【旋片真空泵不能啟動】原因分析主要表現(xiàn)為旋片真空泵加油后不能啟動運轉(zhuǎn)。這時應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如baoxian管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在排除電路部分的故障后,應(yīng)考慮以下兩個因素:?1、電機燒壞:主要為電機定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機功率加大,引起溫度上升,燒毀電機。這時應(yīng)先檢查電機軸承,再檢查電機線圈
真空泵維護與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔,防止雜物進入泵內(nèi)。?2.泵的運轉(zhuǎn)過程中,油箱內(nèi)的存油量不得**油標(biāo)中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進氣口突然暴露大氣時,應(yīng)盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當(dāng),水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進入泵內(nèi)而影響極限真空時
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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