等離子清洗機(jī)用于半導(dǎo)體晶圓清洗工藝

時間：2022-04-01作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：275

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  詞條說明

• 等離子處理機(jī)，清洗激活蝕刻

  等離子清洗機(jī)能夠準(zhǔn)確且有針對性的提升材料表面屬性。使材料的表面形態(tài)發(fā)生顯著變化，引入了多種含氧基團(tuán)，使表面由非級性、難粘性轉(zhuǎn)為有一定級性、易粘性和親水性，有利于粘結(jié)、涂覆和印刷。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離

• 等離子處理機(jī)，精密干式清洗

  等離子清洗機(jī)適合于表面、清潔和對各種材料的改性，包括聚合物、金屬、玻璃和陶瓷。廣泛應(yīng)用于活化，退鍍，改性，蝕刻，提升附著力和清洗等等功能。等離子清洗機(jī)設(shè)備也是目前清洗行業(yè)環(huán)保節(jié)能，有效性好的理想設(shè)備等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備

• 等離子清洗機(jī)集成電路去膠

  等離子體清洗機(jī)的表面處理技術(shù)是利用等離子體實現(xiàn)常規(guī)清洗方法所不能達(dá)到的。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的四態(tài)，與一般的固體氣體三態(tài)不同。向氣體施加足夠的能量，使其離化，即為等離子態(tài)。其“活性”成分包括：離子、電子、原子、活化基、光子等。等離子清洗法是利用這些活性成分對試樣表面進(jìn)行處理，達(dá)到清潔、涂覆等目的。工件表面經(jīng)化學(xué)或物理處理后，可在分子水平上去除污染物，從而提高工件表面活性。在微電子技

• 等離子清洗機(jī)去除光學(xué)元件**污染物

  等離子處理機(jī)不但可以進(jìn)行表面清洗，還可以提高表面活性，等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團(tuán)，應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離