自動校準(zhǔn)、新型長波紅外相機

時間：2022-07-27作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：228

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• 詞條

  詞條說明

• 線激光元件被用于晶圓檢測

  在半導(dǎo)體行業(yè)中，極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題，這會降低產(chǎn)量并耗費生產(chǎn)的時間和成本。因此，檢測半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要，這是在半導(dǎo)體計量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷，通常在深紫外（DUV）波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時，晶圓旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生晶圓的大面積采樣，從而

• Holo/or 2022年發(fā)布6點DOE用于各類激光加工的技術(shù)進展

  Holo/or更新動態(tài)以便給用戶提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)，他們新增了Zemax教程讓用戶更好把Flexishaper整合到Zemax模型中，此外他們即將把光束整形器常見問題放在Holo/or"出版物?"標(biāo)簽下，以便用戶查閱。Holo/or使用衍射光學(xué)技術(shù)實現(xiàn)高速的激光表面紋理加工，Holo/or衍射光束取樣器應(yīng)用亮點是實時反饋激光焊接和切割的情況。1.衍射光學(xué)技術(shù)實現(xiàn)高速的激光表面紋理加工最近發(fā)表在

• EUV硅光電二極管和較紫外光電二極管的溫度和偏振性能

  使用National Synchrotron Light Source的光束線X24C測量EUV硅光電二極管（AXUV100型）的性能特性，在-92°C+41°C的溫度范圍內(nèi)、3.0nm-88.2nm的波長范圍內(nèi)，測量了二極管的靈敏度。這項工作可以更好的理解比室溫更冷或更熱的環(huán)境中的二極管靈敏度變化，例如在航天器上或在強烈的同步加速器或激光照射下。此外，還測量了具有多層干涉涂層的AVU100二極管

• Opto diode多層濾光薄膜在17-150 ?波段的硅光電二極管的特性表征描述

  JF Seely，RS Korde，J Wise對采用薄膜沉積從而具有多層薄膜濾光片的硅光電二極管探測器使用同步輻射進行了表征描述。Opto diode多層膜結(jié)構(gòu)有金屬薄膜和其他材料組成，被設(shè)計用于提供波長帶通在17到150埃的波長范圍（極紫外），實際測量的薄膜透過率和計算的理論透過率具有良好的一致性。建?？紤]了多層薄膜的透過率和在硅基底的底層的輻射能量的沉積，用下述襯底材料制成的探測器也進行了表