詞條
詞條說明
在半導(dǎo)體行業(yè)中,極小的表面缺陷和顆粒是一個(gè)主要問題,這會(huì)降低產(chǎn)量并耗費(fèi)生產(chǎn)的時(shí)間和成本。因此,檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要,這是在半導(dǎo)體計(jì)量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測(cè)的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場(chǎng)/明場(chǎng)顯微鏡來檢測(cè)缺陷,通常在深紫外(DUV)波長(zhǎng)下檢測(cè)100nm以下的缺陷。在這種方法中,Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時(shí),晶圓旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生晶圓的大面積采樣,從而
隔振技術(shù)可分為被動(dòng)隔振(又稱無源隔振)和主動(dòng)隔振(又稱有源隔振)。被動(dòng)隔振只能對(duì)某一特定的窄頻段振動(dòng)起到衰減作用,而對(duì)于隔振對(duì)象狀態(tài)變化較大和振動(dòng)干擾時(shí)變性較強(qiáng)的場(chǎng)合不太適合;同時(shí),由于穩(wěn)定性的限制,被動(dòng)隔振也無法對(duì)低頻振動(dòng)進(jìn)行衰減。而主動(dòng)隔振技術(shù)是在被控系統(tǒng)中引入次級(jí)振源,并通過一定的控制方法調(diào)節(jié)次級(jí)振源的輸出,使其產(chǎn)生的振動(dòng)與主振源(干擾)的振動(dòng)相抵消,從而達(dá)到隔振的目的。與被動(dòng)隔振技術(shù)相比,
Holoeye新推出13個(gè)衍射光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)品元件
HOLOEYE推出13款新的標(biāo)準(zhǔn)品玻璃衍射光學(xué)元件。這些元件由熔融石英玻璃通過蝕刻制成,并在玻璃基板的兩面都具有抗反射(AR)涂層。DOE針對(duì)800nm左右的波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化。都是庫(kù)存現(xiàn)貨HOLOEYE目前添加了13個(gè)具有不同圖案的新標(biāo)準(zhǔn)玻璃DOE:DE805:1:2分束器,全圖案角度:0.25°@800nmDE806:1:2分束器,全圖案角度:0.5°@800nmDE807:1:2分束器,全模式角
大角度線形光束整形器特點(diǎn):-發(fā)散角>150 mRad-線寬為衍射極限-邊緣銳利,超過衍射極限后的能量急劇下降-剖面能量強(qiáng)度為平頂分布,整條線光斑都是均勻的-波長(zhǎng):覆蓋了DUV到NIR-材料:純?nèi)廴谑?,高損傷閾值涂層,適用于高功率的應(yīng)用作為衍射光學(xué)元件制造領(lǐng)域的世界領(lǐng)先者,Holo/Or公司非常榮幸地推出一種新的大角度線形光束整形器。大角度線形光束整形器應(yīng)用:例如,使用合適的聚焦光學(xué)元件和H
公司名: 深圳維爾克斯光電有限公司
聯(lián)系人: 劉先生
電 話: 0755-84870203
手 機(jī): 18926463275
微 信: 18926463275
地 址: 廣東深圳龍崗區(qū)龍崗區(qū)平湖街道華南城1號(hào)館
郵 編:
網(wǎng) 址: welloptics.cn.b2b168.com
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