STK-5150撕膜機-手動晶圓貼膜與自動晶圓撕膜

時間：2021-11-03作者：上海衡鵬實業(yè)有限公司瀏覽：237

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• 5軸機械手臂能夠在真空環(huán)境下對應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局

  5軸機械手臂能夠在真空環(huán)境下對應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局 5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂特點： 5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂GTVCR5000系列 實現(xiàn)了下降價格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統(tǒng)的機能，功能 能夠在真空環(huán)境下對應(yīng)并排擺放的腔室工作臺布局，能夠靈活地適應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局 通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內(nèi)部容積 非常適合inline設(shè)備 機械手臂

• 7134_ADT切割機/Dicing（多角度）

  7134_ADT切割機/Dicing（多角度） 7134多角度切割機擁有 4" 高功率空氣軸承主軸，30krpm時最高2.5KW。直流無刷電機，閉環(huán)速度控制。覆蓋最高 12" 的圓形產(chǎn)品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤（不帶框架）。 系統(tǒng)配有閉環(huán)轉(zhuǎn)向臺，針對多角度切割進行優(yōu)化，適用各種產(chǎn)品，例如： ·陶瓷基板 ·氧化鋁 ·混合物 ·厚膜設(shè)備等 ADT切割機/Dicin

• 5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機械臂

  5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機械臂 5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機械臂特點： 可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運 機械手臂標(biāo)準臂長: 210mm, 280mm 機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210mm臂長） 或者3個FOUP（280mm臂長） 雙手指結(jié)構(gòu)能夠

• GDM300是具有雙拋光工位的全自動晶圓研磨機

  GDM300是具有雙拋光工位的全自動晶圓研磨機 晶圓拋光GDM300全自動晶圓研磨機特長： ·采用全自動系統(tǒng)，從后磨到貼裝的連續(xù)過程，可研磨至25um厚度。 ·2個磨頭階段，產(chǎn)量幾乎是1個磨頭系統(tǒng)的兩倍。 ·內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工的選擇。 ·雙指標(biāo)體系，拋光階段和研磨階段完全分離，滿足TSV和MEMS工藝所需的清潔。 ·超亮度小于Ra1A，可超鏡面。 了解更多：http://www.hap