詞條
詞條說明
光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。 光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)用、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)
立凈無菌室設(shè)計(jì)要求: 1、工作室面積不要大,只需4.2平方米左右,高2.2-2.3米,裝修平整、光滑,無凹凸面,4面墻及屋頂應(yīng)使用防水材質(zhì),便于清潔打掃。2、室內(nèi)采光面積大,從室外應(yīng)能看到室內(nèi)情況。3、為保證無菌室的潔凈,無菌室周圍需設(shè)緩沖走廊,走廊旁再設(shè)緩沖間。 4.無菌室、緩沖走廊及緩沖間均設(shè)有日光燈及供消毒空氣用紫外燈,其電源開關(guān)均應(yīng)設(shè)在室外。5.無菌室與緩沖間進(jìn)出口應(yīng)設(shè)拉門,門與窗平齊,
無塵車間的凈化工程是指空氣無塵度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的受控空間。其功能是把 空氣中微粒子、有害空氣、系菌等其他污染物排除室外,并將室內(nèi)無塵度、溫度、濕度、室內(nèi)壓力、氣流的速度與氣流分布、噪音、振動(dòng)、照明及靜電的控制在某一需求范圍內(nèi)。無塵車間凈化工程較主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵車間。按照**慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1
公司名: 山東星月凈化工程有限公司
聯(lián)系人: 姜經(jīng)理
電 話: 0539-7089836
手 機(jī): 15610686659
微 信: 15610686659
地 址: 山東臨沂羅莊區(qū)臨沂市羅莊區(qū)中國**工業(yè)用品采購中心
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