等離子體清洗機及設(shè)備在干法清洗的優(yōu)勢

時間：2020-01-05作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：262

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• 詞條

  詞條說明

• 等離子清洗機應(yīng)用解決方案

  等離子清洗機的表面清洗解決方案在真空等離子腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，以達到清洗目的。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和

• plasma等離子清洗機設(shè)備的原理及應(yīng)用

  1何謂plasma等離子清洗機設(shè)備 ? plasma等離子清洗機設(shè)備采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。plasma等離子清洗機設(shè)備外接一臺真空泵，工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時間的清洗就可以使有機污染物被地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗程度達到分子級。等離子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變

• 等離子清洗機提高粘接性、表面改質(zhì)處理

  等離子清洗機提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理等離子清洗機應(yīng)用于汽車制造涂裝烤漆前預(yù)處理，液晶玻璃表面清洗，電路板印刷，電鍍，除油污代替化學處理等等眾多領(lǐng)域。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理

• 等離子清洗機設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介，當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體，同時通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進行反應(yīng)，形成氣體被真空泵抽走 等離子清