等離子清洗機(jī)設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用

時間：2020-01-05作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：431

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• 詞條

  詞條說明

• 等離子清洗機(jī)對晶圓的預(yù)處理

  等離子清洗機(jī)用于晶圓級封裝的預(yù)處理，去除表面礦物質(zhì)，減少氧化層，增加銅表面粗糙度，plasma等離子清洗機(jī)能通過等離子產(chǎn)生的自由基將高分子聚合物去除干凈，包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。而且能將很深洞中或其他很深地方將光刻膠的殘留物去除掉.等離子清洗機(jī)的表面處理能夠去除表面光刻膠和其余有機(jī)物，也可以通過等離子活化和粗化作用，對晶圓表面進(jìn)行處理，能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法

• 等離子清洗機(jī)增強(qiáng)邦定性

  等離子處理機(jī)不但可以進(jìn)行表面清洗，重要的是可以提高表面活性，等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團(tuán)，應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。利用等離子體技術(shù)對這些材料進(jìn)行表面處理，在高速高能等離子體的轟擊下，很大限度地發(fā)揮這些材料的結(jié)構(gòu)表面，在材料表面形成活性層，使橡膠、塑料能夠打印、粘合、涂層等操作。

• 等離子清洗機(jī)增強(qiáng)TP模塊附著力

  等離子清洗機(jī)處理是有效的對表面進(jìn)行清洗、活化和涂層的處理工藝之一，可以用于處理各種材料，包括塑料、金屬或者玻璃等。等離子處理機(jī)對表面清洗，可以去除表面上的脫模劑和添加劑等，而其活化過程，則可以確保后續(xù)的粘接工藝和涂裝工藝等的品質(zhì)，對于涂層處理而言，則可以進(jìn)一步改善復(fù)合物的表面特性。使用等離子清洗機(jī)可以根據(jù)定的工藝需求，高效地對材料進(jìn)行表面預(yù)處理。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離

• 等離子清洗機(jī)活化,蝕刻,灰化,去膠作用

  plasma等離子清洗機(jī)具有活化,蝕刻,灰化,去膠作用：plasma等離子處理設(shè)備通過對物體表面進(jìn)行等離子轟擊，可以達(dá)到對物體表面的蝕刻，活化，清洗，改性，灰化等目的。等離子清洗機(jī)能顯著加強(qiáng)材料表面的粘性及焊接強(qiáng)度，等離子處理設(shè)備應(yīng)用于LCD，LED，PCB，BGA，引線框架，平板顯示器的清洗和蝕刻。等離子處理機(jī)清洗過可以在短時間內(nèi)能清除材料表面污染物不管表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料等材料，等離