聚焦離子束（FIB）在成分分析中的應用

時間：2020-02-14

作者：深圳市啟威測標準技術服務有限公司

詞條
詞條說明
表面成分分析需要的工具有哪些？
表面成分分析工具化學抽提法微譜技術實拍--氣相色譜儀微譜技術實拍--氣相色譜儀XRF法GC-MSLC-MSICP-MS核磁ICGPCXRD等金屬材料測試常用方法濕法分析直讀光譜（OES）電感耦合等離子體放射光譜（ICP-AES）電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）原子吸收光譜（AAS）手持式XRF
SEM及EDS測試范圍有哪些？
SEM的二次電子成像分辨率約3nm背散射電子成像分辨率約300nmEDS成分分析的元素范圍Be~U分析深度約1μm檢測下限約1%空間分辨率約1μmSEM+?EDS常規(guī)服務項目:各種固體材料的形貌分析微區(qū)化學成分檢測樣品成分的線分布和面分布分析機械探針式測量方法:探針式輪廓儀測量范圍大，測量精度高，但它是一種點掃描測量，測量費時。機械探針式測量方法是開發(fā)較早、研究充分的一一種表面輪廓測量方
聚焦離子束（FIB）在成分分析中的應用
焦離子束工作原理：? 聚焦離子束顯微鏡(FIB)的利用鎵(Ga)金屬作為離子源，再加上負電場?(Extractor)?牽引尖端細小的鎵原子，而導出鎵離子束再以電透鏡聚焦，經(jīng)過一連串可變孔徑光闌，決定離子束的大小，再經(jīng)過二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來進行特定圖案的加工，一般單粒子束的FIB(Single Beam FIB)，可以提供材料切割、沉積金屬、
常用熱分析方法對比
熱分析技術是在溫度程序控制下研究材料的各種轉變和反應，是一種十分重要的分析測試方法。常用的熱分析方法有：熱重法(TG)、差熱分析法（DTA）、差示掃描量熱法（DSC）。熱重分析法：?熱重分析（Thermogravimetric Analysis，TG或TGA），是指在程序控制溫度下測量待測樣品的質量與溫度變化關系的一種熱分析技術，用來研究材料的熱穩(wěn)定性和組份。TGA在研發(fā)和質量控制方面都