掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設(shè)計和制造的X/Y/Theta/Z平臺。

時間：2022-10-21作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：258

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  詞條說明

• 用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。

  nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時以上定位穩(wěn)定性達到1nm。

• nanomotion介紹

  作為精密超聲波壓電電機的制造商，第三方制造商經(jīng)常會在其系統(tǒng)設(shè)計中使用我公司的電機部件。為了支持這些新方案，Nanomotion不僅時常提供關(guān)鍵性的設(shè)計指南，還會提供與控制集成和平臺性能相關(guān)的系統(tǒng)級輸入。然而，市場對我們產(chǎn)品的評價受限于其他部分的性能，這一點無可避免，但并不能代表我公司的技術(shù)。不幸的是，一旦第三方制造商在關(guān)鍵設(shè)計部分、元件選擇或裝配/檢測規(guī)程上出現(xiàn)瑕疵，電機的可靠性會降低。Nanom

• GALIL運動控制卡簡介

  GALIL運動控制卡是基于PC和工業(yè)PC的上位控制單元，用于各種運動控制場合(包括位移、速度、加速度等)。 GALIL運動控制卡是基于PC總線，利用高性能微處理器(如DSP)和大規(guī)模可編程器件，實現(xiàn)多臺伺服電機多軸協(xié)調(diào)控制，包括脈沖輸出、脈沖計數(shù)、數(shù)字輸入、數(shù)字輸出、D/A輸出等功能的一種高性能步進/伺服電機galil運動控制卡。它可以發(fā)出連續(xù)而頻繁的脈沖串，通過改變發(fā)送脈沖的頻率來操作以GALI

• Nanomotion生產(chǎn)的無磁電機

  Nanomotion推出一款無磁旋轉(zhuǎn)電機。這將是一個包含了塑料主體的電機、無磁編碼器/電機軸和陶瓷軸承在內(nèi)的模塊。作為一個完整的模塊，對客戶而言，我們的電機/陶瓷環(huán)不再是當(dāng)作一個組件使用，而是可以直接連接到輸出軸的總成。該電機支持在核磁共振成像（MRI）環(huán)境內(nèi)工作，適用于需要在MRI環(huán)境內(nèi)工作的醫(yī)療設(shè)備，以及對固有磁場或磁性材料敏感的工業(yè)應(yīng)用。產(chǎn)品將在XCD2平臺上運行，該平臺起到驅(qū)動器和控制器的