掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設計和制造的X/Y/Theta/Z平臺。

時間：2022-10-21

作者：上海銳放自控技術有限公司

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詞條
詞條說明
nanomotion行業(yè)應用--靜音旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器和快門
靜音旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器和快門行業(yè)應用旋轉(zhuǎn)和平動快門廣泛應用于手持式和飛行式額定熱成像設備。尤其對于在人體周圍工作的設備（頭戴式、步槍式或手持式），往往提出包含噪聲標準在內(nèi)的新要求。從軍事角度來看，由于這些快門可能在非?？拷鼣橙说牡胤焦ぷ?，因此噪聲已成為一個關鍵問題。基于壓電的旋轉(zhuǎn)和平動快門可以進行非均勻性校正，能夠在靜音操作的同時，在SWaP（尺寸、重量和功率）優(yōu)化方面也表現(xiàn)突出。一個典型的雙位雙穩(wěn)態(tài)電磁
用于半導體加工的**精密XY真空平臺。
nanomotion用于半導體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時以上定位穩(wěn)定性達到1nm。
GALIL運動控制卡簡介
GALIL運動控制卡是基于PC和工業(yè)PC的上位控制單元，用于各種運動控制場合(包括位移、速度、加速度等)。 GALIL運動控制卡是基于PC總線，利用高性能微處理器(如DSP)和大規(guī)模可編程器件，實現(xiàn)多臺伺服電機多軸協(xié)調(diào)控制，包括脈沖輸出、脈沖計數(shù)、數(shù)字輸入、數(shù)字輸出、D/A輸出等功能的一種高性能步進/伺服電機galil運動控制卡。它可以發(fā)出連續(xù)而頻繁的脈沖串，通過改變發(fā)送脈沖的頻率來操作以GALI
運動控制的概念
運動控制（Motion Control）通常是指在復雜條件下將預定的控制方案、規(guī)劃指令轉(zhuǎn)變成期望的機械運動，實現(xiàn)機械運動精確的位置控制、速度控制、加速度控制、轉(zhuǎn)矩或力的控制。運動控制器就是控制電動機的運行方式的專用控制器：比如電動機在由行程開關控制交流接觸器而實現(xiàn)電動機拖動物體向上運行達到指定位置后又向下運行，或者用時間繼電器控制電動機正反轉(zhuǎn)或轉(zhuǎn)一會停一會再轉(zhuǎn)一會再停。運動控制在機器人和數(shù)控機床的