磁控濺射沉積系統(tǒng)設計

時間：2023-04-13

作者：鄭州科探儀器設備有限公司

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你并不了解小型濺射儀
小型濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使其電離產生出Ar正離子和新的電子；新電子飛向基片，Ar離子在電場作用下加速飛向陰靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產生的二次電子會受到電場和磁場作用，產生E（電場）×B（磁場）所指的方向漂移，簡稱E×B漂移，其運動軌跡近似一條擺線。若為環(huán)形磁場，則電子就
真空探針臺優(yōu)勢和適用于那些科研
KT-Z1604T探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。??? 該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面較高可升溫到較高350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節(jié)，其中X
高低溫探針臺-解釋塞貝克系數(shù)測量原理及系數(shù)
塞貝克系數(shù)（Seebeck Coefficient）也稱為熱電偶效應或Seebeck效應，是指兩種不同導體（或半導體）材料在一定溫差下產生熱電動勢的現(xiàn)象。塞貝克系數(shù)是研究熱電材料（將熱能轉化為電能的材料）非常重要的一個參數(shù)，它用來衡量材料在一定溫差下產生的熱電壓。?塞貝克系數(shù)的測量方法有很多種，其中一種常用的方法是恒流法。首先準備一個熱電偶，它由兩種不同材料的導線組成。然后將熱電偶的其中
小型濺射儀問題解答
小型濺射儀儀問儀答較近小伙伴對于濺射儀使用和技術參數(shù)問的問題比較多，今天總結一下濺射儀的一些常見的技術問題：1、膜厚檢測儀原理：膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，利用頻率測量技術加上**的數(shù)學算法，進行膜厚的在線鍍膜速率和實時厚度計算。主要應用于MBE、OLED或金屬熱蒸發(fā)、磁控濺射設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。2、濺射儀是否可以鍍鎳：可以鍍鎳 ?但是鎳是導磁