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詞條說明
硅片去除光刻膠,一般都是采用等離子處理機(jī)的干洗清洗方式,以解決光刻膠問題。半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)是晶圓加工前的后端封裝工藝,是晶圓扇出、晶圓級封裝、3D封裝、倒裝片和傳統(tǒng)封裝的理想選擇。圓晶封裝前采用等離子體清洗機(jī)處理的目的是去除表面層中的無機(jī)物,減少氧化層,增加銅表面層的粗糙度,提高產(chǎn)品的可靠性。半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備支持直徑75mm至300mm的圓形或方形晶片、基片的自動(dòng)處理。另外,可以根據(jù)晶片的厚
plasma等離子清洗機(jī)具有活化,蝕刻,灰化,去膠作用:plasma等離子處理設(shè)備通過對物體表面進(jìn)行等離子轟擊,可以達(dá)到對物體表面的蝕刻,活化,清洗,改性,灰化等目的。等離子清洗機(jī)能顯著加強(qiáng)材料表面的粘性及焊接強(qiáng)度,等離子處理設(shè)備應(yīng)用于LCD,LED,PCB,BGA,引線框架,平板顯示器的清洗和蝕刻。等離子處理機(jī)清洗過可以在短時(shí)間內(nèi)能清除材料表面污染物不管表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料等材料,等離
在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,晶圓芯片表面會(huì)存在各種微粒、金屬離子、有機(jī)物及殘留的磨料顆粒等沾污雜質(zhì),為了避免污染物對芯處理性能造成致致命影響和缺陷,在保證不破壞芯處理及其他輔助材料表面特性、電特性的前提下,半導(dǎo)體晶圓在制造過程中,需要經(jīng)過多次的表面清洗步驟,而晶圓光刻膠plasma等離子清洗機(jī)是晶圓級和3D封裝應(yīng)用的理想的干式清洗設(shè)備。晶圓光刻蝕膠等離子清洗機(jī)的應(yīng)用:等離子應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠
等離子清洗機(jī)表面活化增強(qiáng)附著力如以下的應(yīng)用范圍:等離子清洗機(jī)應(yīng)用于去除油脂、油、氧化物、纖維,去除硅氧樹脂(LABS-free),邦定、 焊接、粘接前預(yù)處理,金屬部件涂裝前預(yù)處理等。等離子清洗機(jī)對電子行業(yè)的手機(jī)殼印刷、涂覆、點(diǎn)膠等前處理,手機(jī)屏幕的表面處理;等離子清洗機(jī)對航空航天電連接器的表面清洗;★粘接前、涂裝前、印刷前的預(yù)處理,粘接、錫焊、電鍍前的表面處理。★表面活化,生物材料的表面修飾,電線
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
電 話: 0535 -8236617
手 機(jī): 13573547231
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地 址: 山東煙臺招遠(yuǎn)市山東招遠(yuǎn)高新開發(fā)區(qū)招金路518號
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