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三坐標測量儀是一種具有可作三個方向移動的探測器,可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動,此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號,三個軸之位移量測系統(tǒng)(如光學(xué)尺)經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(x,y,z)及各項功能量測的儀器。三坐標測量機就是在三個相互垂直的方向上有導(dǎo)向機構(gòu)、測長元件、數(shù)顯裝置,有一個能夠放置工件的工作臺(大型和巨型不一定有),測頭可以以手動或機動方式輕快地移動到被測點上,由讀數(shù)設(shè)
等離子清洗/刻蝕機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達到清洗的效
真空等離子清洗機整個清洗過程大致如下:1)被清洗的工件送入真空式并加以固定,啟動運行裝置,開始排氣,使真空室內(nèi)的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要幾分鐘。2)向真空室內(nèi)引入等離子清洗用的氣體,并保持腔內(nèi)壓強穩(wěn)定。根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等氣體。3)在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)
按三坐標測量儀結(jié)構(gòu)可分為如下幾類:1.移動橋架型(Movingbridgetype)移動橋架型,為較常用的三坐標測量儀的結(jié)構(gòu),軸為主軸在垂直方向移動,廂形架導(dǎo)引主軸沿水平梁在方向移動,此水平梁垂直軸且被兩支柱支撐于兩端,梁與支柱形成“橋架”,橋架沿著兩個在水平面上垂直和軸的導(dǎo)槽在軸方向移動。因為梁的兩端被支柱支撐,所以可得到較小的撓度,且比懸臂型有較高的精度。2.床式橋架型(Bridgebedty
公司名: 深圳瑞程科技有限公司
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地 址: 廣東深圳坪山區(qū)深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值览峡由鐓^(qū)坑梓錦繡中路18號齊心科技園3號
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網(wǎng) 址: zhang8929.b2b168.com
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