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詞條說明
等離子體清洗機的表面處理技術(shù)是利用等離子體實現(xiàn)常規(guī)清洗方法所不能達到的。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也稱為物質(zhì)的四態(tài),與一般的固體氣體三態(tài)不同。向氣體施加足夠的能量,使其離化,即為等離子態(tài)。其“活性”成分包括:離子、電子、原子、活化基、光子等。等離子清洗法是利用這些活性成分對試樣表面進行處理,達到清潔、涂覆等目的。工件表面經(jīng)化學(xué)或物理處理后,可在分子水平上去除污染物,從而提高工件表面活性。在微電子技
? ?等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子表面處理設(shè)備,等離子刻蝕機,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果. 等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機
等離子清洗機用于晶圓級封裝的預(yù)處理,去除表面礦物質(zhì),減少氧化層,增加銅表面粗糙度,plasma等離子清洗機能通過等離子產(chǎn)生的自由基將高分子聚合物去除干凈,包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。而且能將很深洞中或其他很深地方將光刻膠的殘留物去除掉.等離子清洗機的表面處理能夠去除表面光刻膠和其余有機物,也可以通過等離子活化和粗化作用,對晶圓表面進行處理,能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法
玻璃光學(xué)鏡片等離子清洗機,樹脂鏡片清潔儀,UV/IR鏡片活化處理利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù),在一定真空負壓的狀態(tài)下,以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性高的氣體等離子體,氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面,引起分子結(jié)構(gòu)的改變,從而達到對樣品表面有機污染物進行清洗,在短時間內(nèi)有機污染物就被外接真空泵抽走,其清洗能力可以達到分子級。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì),所以能有效避免樣品的再次
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
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地 址: 山東煙臺招遠市山東招遠高新開發(fā)區(qū)招金路518號
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