【真空泵廠家】真空泵正確使用保養(yǎng)方法

時間：2021-08-29作者：上海福豫機械設(shè)備有限公司瀏覽：73

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  Dry Pump(干式真空泵）的原理和優(yōu)點Dry Pump是較基本的真空pump，它是利用螺桿原理來工作的，它主要的特點是可以從大氣壓下直接開始抽氣,所以可以單獨使用。一般真空度要求不高（E-3torr以下），如CVD及furnace僅使用dry pump即可。氣體從中間進入的優(yōu)點：1.縮短了氣體通過pump的路徑，減少了particle的沉積2.減少了進口與出口壓差對軸的影響，減小徑向扭矩Dry

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  如何使用讓旋片式真空泵較好的操作(1)使用旋片式真空泵前，按油標指示刻度加入真空泵油。旋轉(zhuǎn)三通閥，使泵的吸氣管與大氣相通，而與被抽空容器隔絕，打開排氣口。(2)用手轉(zhuǎn)動皮帶輪，檢查運轉(zhuǎn)情況，無異常情況后，再接通電源，注意轉(zhuǎn)動方向。(3)泵運轉(zhuǎn)正常后.緩慢旋轉(zhuǎn)三通閥，使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。(4)停止使用泵時，欲保持真空系統(tǒng)有一定的真空度，應(yīng)旋轉(zhuǎn)三通閥，使真空系統(tǒng)封閉，泵的吸氣管與