【磚機(jī)用真空泵廠家】普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn)

時(shí)間：2021-09-26作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：142

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• 【工業(yè)真空泵】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真

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