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【上海單級旋片真空泵】XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項(xiàng)
XD型真空泵清洗、換油的步驟及應(yīng)注意事項(xiàng)1、停止運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵將熱油放掉。2、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10秒。3、將油放盡。4、注入清洗用油(32號普通機(jī)械油)到油窗高度的3/4處。5、運(yùn)轉(zhuǎn)XD型旋片式真空泵5-10分鐘。6、停XD型旋片式真空泵,將油放掉。如油尚不能達(dá)到要求,重復(fù)4、5步驟。7、旋上放油塞運(yùn)轉(zhuǎn)5-10鈔。8、將油放盡。9、注入規(guī)定的新真空泵油。10、XD型旋片式真空泵換排氣過濾
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
旋片式真空泵使用說明:一.?首先在開箱時(shí)要檢查您所采購的旋片式真空泵在運(yùn)輸過程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發(fā)現(xiàn)有所不理解,請馬上致電我公司銷售工程師二.?您在使用安裝調(diào)試旋片式真空泵前,請您仔細(xì)詳閱使用說明,嚴(yán)格按產(chǎn)品操作程序?qū)嵤?,并要注意先擰開加油螺塞從加油孔中加油至油標(biāo)2/3,后從進(jìn)氣管孔內(nèi)加入少許泵油為加強(qiáng)泵腔內(nèi)潤滑。油位過低對排氣閥不能起封閉作用且影響真空度,過
【國產(chǎn)普旭真空泵】定期檢修維護(hù)須知國產(chǎn)普旭真空泵油隨著泵的運(yùn)轉(zhuǎn)惡劣,因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況,并及時(shí)替換泵油。替換泵油的周期:每六個(gè)月?lián)Q油清洗一次。泵油替換步驟如下:1、打開真空泵的吸氣管,5秒后使其開始運(yùn)行。泵內(nèi)剩下的泵油*被排除。2、先拆下排氣管,在打開放油閥,然后倒出泵油。3、關(guān)閉排油閥,把新的真空泵油從加油口注入。4、如果泵油的污染非常嚴(yán)重,必須添加些新泵油,通過幾分鐘
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