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光刻機伺服電機維修也會導致IGD無法進行正常的運行。隔離電源的內(nèi)部元件構(gòu)造相對比較脆弱,在隔離電源的整體結(jié)構(gòu)中,起振電路**是一枚CMOS半導體,這種半導體雖然和TTLIC半導體相比擁有較寬的工作電壓和較低的能耗,但是也較加*被損壞。維修變頻器隔離電源的開關(guān)管使用的是MOS管。通過MOS管的應用,固然能夠提升IGBT的開關(guān)速度,減少開關(guān)管的損耗,但是在惡劣環(huán)境中的損壞可能性較大,另外作為電壓觸
NP(NEW POWER **SMA) NPG-15KM等離子體電源維修
NP(NEW POWER **SMA) NPG-15KM等離子體電源維修3=G95[20]1=BRISK(std),2=SOFT[22]1=CDOF(std),2=CDON[23]1=BRISK(std)。2=SOFT[28]1=FFWOF(std)。2=FFWON[20]1=DIAMOF(std),2=DIAMON較詳細的信息,創(chuàng)建兩個程序和1.設(shè)置OB100中FB1的參數(shù):NCKomm:=
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