詞條
詞條說明
等離子清洗機(jī)能去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物,使得晶圓表面變得清潔并具親水性芯片制作完成后殘余的光刻膠無法用濕式法清洗,只能通過等離子清洗機(jī)進(jìn)行去除,晶圓級封裝前等離子清洗機(jī)處理的目的是去除表面的無機(jī)物,還原氧化層,增加銅表面的粗糙度,提高產(chǎn)品的可靠性。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)
等離子清洗機(jī)的表面清洗功能表面清洗顧名思義就是把產(chǎn)品表面洗干凈,一些精密電子產(chǎn)品的表面有我們?nèi)庋劭床坏降挠袡C(jī)物污染物,這些有機(jī)物會直接影響產(chǎn)品后序使用的可靠性和安全性。比如我們使用的各種電子設(shè)備里面都有連接線路的主板。主板是由導(dǎo)電的銅箔加環(huán)氧樹脂和膠附合而成的,附好的主板要連接電路,就要在主板上鉆一些線路微孔再鍍銅,微孔中間會殘留一些膠渣,因?yàn)橛心z渣鍍銅后會出現(xiàn)剝落現(xiàn)象,就算當(dāng)時沒有剝落,在使用過
光學(xué)元件等離子清洗去除表面有機(jī)污染物光學(xué)元件等離子體清洗機(jī)去除附著的有機(jī)污染物,恢復(fù)元件的光學(xué)性能和表面形貌,同時不能降低其抗污染性能。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合
等離子清洗機(jī)的表面清洗解決方案在真空等離子腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,以達(dá)到清洗目的。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
電 話: 0535 -8236617
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