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詞條說明
等離子體清洗機的表面處理用于改變各種材料的表面性質(zhì),使其容易粘合,膠合和涂漆。采用等離子體清洗機來處理材料能夠清潔和激活表面,改善其粘附特性。封裝領(lǐng)域中采用等離子清洗機來清洗和改性,增強其粘附性,適用于直接封裝及粘合力。涂覆鍍膜領(lǐng)域采用等離子清洗機對玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性,使其活化,增強表面粘附性等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子
等離子清洗機設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中,晶圓表面會涂上光刻膠,然后光刻,顯影,但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介,當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后,需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝,之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體,同時通入氧氣或其他氣體,等離子體與光刻膠進行反應(yīng),形成氣體被真空泵抽走 等離子清
等離子處理機不但可以進行表面清洗,重要的是可以提高表面活性,等離子體與物體表面進行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團,應(yīng)用范圍很廣,比如提高材料表面粘接能力,提高焊接能力,邦定性,親水性等等很多方面。利用等離子體技術(shù)對這些材料進行表面處理,在高速高能等離子體的轟擊下,很大限度地發(fā)揮這些材料的結(jié)構(gòu)表面,在材料表面形成活性層,使橡膠、塑料能夠打印、粘合、涂層等操作。
等離子清洗機能夠清除金屬、陶瓷、塑料、玻璃表面的有機污染物,可以明顯改變這些表面的粘接性及焊接強度。離子化過程能夠容易地控制和安全地重復(fù)實現(xiàn)??梢哉f,有效的表面處理對于產(chǎn)品的可靠性或過程效率的提高是至關(guān)重要的,等離子技術(shù)也是目前最理想的技術(shù)。通過表面活化,等離子技術(shù)可以改善絕大多數(shù)物質(zhì)的性能:潔凈度、親水性、斥水性、粘結(jié)性、標(biāo)刻性、潤滑性、耐磨性。在材料生產(chǎn)過程中,等離子表面改性技術(shù)已經(jīng)逐漸成為
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
電 話: 0535 -8236617
手 機: 13573547231
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地 址: 山東煙臺招遠市山東招遠高新開發(fā)區(qū)招金路518號
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網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com
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