硅麥克風純MEMS與CMOS工藝的差異

時間：2016-03-21

作者：深圳市藍之宇電子有限公司

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《新形勢下MEMS產(chǎn)業(yè)結(jié)構和技術發(fā)展趨勢》研討會在蘇州納米城圓滿落幕
2015年，在《地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》等地區(qū)政策的推動下，千億級地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)股權投資基金撬動作用逐漸顯現(xiàn)，“中國制造2025”、“互聯(lián)網(wǎng)+”等地區(qū)戰(zhàn)略的陸續(xù)實施也將有力支撐國內(nèi)產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)跨越發(fā)展，在《中國制造2025》**領域技術圖，其中六大領域都明確了傳感器的重要意義和戰(zhàn)略地位，MEMS產(chǎn)業(yè)作為其中具有戰(zhàn)略地位的一環(huán)，在產(chǎn)業(yè)中地位凸顯。展望未來，微型化、智能化、多功能化和網(wǎng)絡化傳感器將
硅麥克風純MEMS與CMOS工藝的差異
多數(shù)企業(yè)所開發(fā)的MEMS微麥克風主要分為兩種形態(tài)：**種是利用**的MEMS代工廠制造出MEMS IC，再加上一個ASIC放大器，將MEMS IC及ASIC IC用SIP封裝方式封裝成MEMS麥克風芯片。這一部分在IC封裝過程中**保護振膜不被破壞，其封裝成本相對較高；另一種是先利用CMOS晶圓廠制造出ASIC部分，再利用后工藝來形成MEMS的結(jié)構部分。其MEMS工藝技術目前似乎還無法在標準的CM
干簧管與霍爾效應傳感器的選擇與比較
自從有了霍爾效應傳感器以來，它奪得了設計師的設計想象力，一般認為固態(tài)器件比機械電子器件較為**。然而，當比較干簧管傳感器技術與霍爾傳感器技術時，你可觀察到干簧管傳感器一些值得注意的優(yōu)點。干簧管傳感器技術在干簧傳感器中，關鍵的元件是簧片開關，它是由Western Electric公司在1940年發(fā)明的。其它主要元件是開或關的彈性簧片及磁鐵或電磁鐵。經(jīng)過60年，干簧管開發(fā)得到了一些改進，使得較可
什么是硅麥靈敏度？
硅麥靈敏度是指硅麥在一定強度的聲音作用下輸出電信號的大小。靈敏度高，表示硅麥的聲一電轉(zhuǎn)換**，對微弱的聲音信號反應靈敏。技術上常用在0.1pa[μBar（微巴）]聲壓作用下硅麥能輸出多高的電壓來表示靈敏度。如某硅麥的靈敏度為1mV/μBar，即表示該硅麥在1μBar聲壓作用下輸出的信號電壓為1mV。習慣上也常用DB來表示硅麥的靈敏度。一般靈敏度有-48dB~-66dB(國內(nèi)標準）；**標準的-3