詞條
詞條說明
在真空鍍膜技術(shù)中,磁控濺射鍍膜技術(shù)屬于比較常見的一種鍍膜技術(shù)。今天,廣東真空鍍膜設(shè)備廠家就告訴大家,磁控濺射鍍膜技術(shù)的優(yōu)點和缺點: 1、沉積速度快、基材溫升低、對膜層的損傷小; 2、對于大部分材料,只要能制成靶材,就可以實現(xiàn)濺射; 3、濺射所獲得的薄膜與基片結(jié)合較好; 4、濺射所獲得的薄膜純度高、致密度好、成膜均勻性好; 5、濺射工藝可重復(fù)性好,可以在大面積基片上獲得厚度均勻的薄膜; 6、能夠控制
一、靶面金屬化合物的形成由金屬靶面通過反應(yīng)濺射工藝形成化合物的過程中,化合物是在哪里形成的呢?由于活性反應(yīng)氣體粒子與靶面原子相碰撞產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成化合物原子,通常是放熱反應(yīng),反應(yīng)生成熱必須有傳導(dǎo)出去的途徑,否則該化學(xué)反應(yīng)無法繼續(xù)進行。在真空條件下氣體之間不可能進行熱傳導(dǎo),所以化學(xué)反應(yīng)必須在一個固體表面進行。反應(yīng)濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結(jié)構(gòu)表面進行。在基片表面生成化合物是我們的目的,在其
? ? ? ? ? 由于真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作,因此該設(shè)備要滿足真空對環(huán)境的要求。我國制減定的各類真空鍍膜設(shè)備的行業(yè)標準(包括真空鍍膜設(shè)備通用技術(shù)條件、真空離子鍍膜設(shè)備、真空濺射鍍膜設(shè)備、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備)都對環(huán)境要求作了明確規(guī)定。只有滿足了真空鍍膜設(shè)備對環(huán)境的要求,才能使該設(shè)備正常運轉(zhuǎn),加上正確的鍍膜工藝,方能生產(chǎn)出合格的鍍膜產(chǎn)品。真空對
? ? ? ? ?磁控濺射是一個運行模式的二級濺射。它與二,四級濺射的主要不同點;一是,在濺射的陰極靶后面設(shè)置了*磁鋼或電磁鐵。在靶面上產(chǎn)生水平分量的磁場或垂直分量的磁場,由氣體放電產(chǎn)生的電子被束縛在靶面附近的等離子區(qū)內(nèi)的特定軌道內(nèi)運轉(zhuǎn);受電場力和磁場力的復(fù)合作用,沿一定的跑道作旋轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)圈。? ? ? ?
公司名: 廣東振華科技股份有限公司廣東廣州分公司
聯(lián)系人: 吳先生
電 話:
手 機: 18011984646
微 信: 18011984646
地 址: 廣東廣州黃埔區(qū)起云路8號5棟411房、5棟412房
郵 編:
網(wǎng) 址: gdzhenhuavac.b2b168.com
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