詞條
詞條說明
在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,晶圓芯片表面會存在各種微粒、金屬離子、有機物及殘留的磨料顆粒等沾污雜質(zhì),為了避免污染物對芯處理性能造成致致命影響和缺陷,在保證不破壞芯處理及其他輔助材料表面特性、電特性的前提下,半導(dǎo)體晶圓在制造過程中,需要經(jīng)過多次的表面清洗步驟,而晶圓光刻膠plasma等離子清洗機是晶圓級和3D封裝應(yīng)用的理想的干式清洗設(shè)備。晶圓光刻蝕膠等離子清洗機的應(yīng)用:等離子應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠
工業(yè)生產(chǎn)中的清洗概念很廣,包括任何與去除污染物有關(guān)的工藝,在不破壞材料表面特性的前提下,有效地清除殘留在材料上的微塵,有機雜物及金屬離子?,F(xiàn)等離子清洗機通過對樣品表面進行改性(親水性),同時除掉表面有機物,使多種材料之間能夠進行貼合、涂覆、鍍膜等工藝操作。從研究開發(fā)到工藝生產(chǎn)使用,從表面微細(xì)加工到表面處理改質(zhì)效果都非常好,應(yīng)用廣泛。如今應(yīng)用研究于物理化學(xué)清洗的方法,大致分為兩類:干法清洗和濕法清洗
低溫等離子體(plasma)技術(shù)在很多制造業(yè)中得到應(yīng)用,特別是在汽車、航空及生物醫(yī)用部件的表面處理方面。等離子清洗機是“干”清洗工藝,省去了濕法化學(xué)處理工藝中所不可缺少的烘干,廢水處理等工藝,減少了有毒液體的使用,等離子體技術(shù)在環(huán)保上顯示出優(yōu)越性。同時,由于兼容納米制造,等離子體技術(shù)在大規(guī)模工業(yè)制造中也具有優(yōu)勢。等離子體技術(shù)對制造業(yè)的最大沖擊體現(xiàn)在微電子工業(yè)上。如果沒有等離子體的相關(guān)技術(shù),大規(guī)模集
等離子體清洗機能夠有效的改善高分子材料的表面性能,包括潤濕性、粘合性、染色性、印刷性、防靜電性等等等離子清洗機有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機,等離子表面處理機,電漿清洗機,plasma清洗機,等離子去膠機,等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
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電 話: 0535 -8236617
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地 址: 山東煙臺招遠(yuǎn)市山東招遠(yuǎn)高新開發(fā)區(qū)招金路518號
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