詞條
詞條說(shuō)明
磁控濺射技術(shù)原理及應(yīng)用簡(jiǎn)介
磁控濺射技術(shù)原理及應(yīng)用簡(jiǎn)介一、磁控濺射原理磁控濺射是一種常用的物相沉積(PVD)的方法,具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好,成分接近靶材成分等眾多優(yōu)點(diǎn)。傳統(tǒng)的濺射技術(shù)的工作原理是:在高真空的條件下,入射離子(Ar+)在電場(chǎng)的作用下轟擊靶材,使得靶材表面的中性原子或分子獲得足夠動(dòng)能脫離靶材表面,沉積在基片表面形成薄膜。但是,電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用,產(chǎn)生漂移,因而導(dǎo)致傳濺射效率低,電
多功能 可擴(kuò)展 顯微鏡熱臺(tái) 拉曼光學(xué)測(cè)試臺(tái)
擁有一臺(tái) 你在材料測(cè)試方面微型真空探針臺(tái)? ? ? ?多功能 可擴(kuò)展 顯微鏡熱臺(tái) 微型探針臺(tái)?? ? ? ?氣敏濕敏探針臺(tái)? 拉曼光學(xué)測(cè)試臺(tái)? 熱電探針臺(tái)??? ? ? ? 光電探針臺(tái) 非磁性霍爾效應(yīng)探針臺(tái)??
1、樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),多樣品同時(shí)鍍膜時(shí),鍍膜厚度比較均勻。2、預(yù)濺射擋板功能,剛開(kāi)始鍍膜的時(shí)候腔室里會(huì)有些雜質(zhì),擋板可以保護(hù)樣品,提高薄膜質(zhì)量3、帶有水冷系統(tǒng),可以長(zhǎng)時(shí)間濺射鍍膜,厚度可達(dá)1微米以上。4、直流磁控濺射,提高附著力,濺射速率快,比離子濺射快上一個(gè)量級(jí)。針對(duì)某些金屬較快能達(dá)到1-2納米每秒,5、不但可以電鏡制樣,還可以制作金屬電極。6、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測(cè),監(jiān)測(cè)薄膜厚度。濺射儀使用需注1 靶材需要
小型濺射儀儀問(wèn)儀答較近小伙伴對(duì)于濺射儀使用和技術(shù)參數(shù)問(wèn)的問(wèn)題比較多,今天總結(jié)一下濺射儀的一些常見(jiàn)的技術(shù)問(wèn)題:1、膜厚檢測(cè)儀原理:膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理,利用頻率測(cè)量技術(shù)加上先進(jìn)的數(shù)學(xué)算法,進(jìn)行膜厚的在線鍍膜速率和實(shí)時(shí)厚度計(jì)算。主要應(yīng)用于MBE、OLED或金屬熱蒸發(fā)、磁控濺射設(shè)備的薄膜制備過(guò)程中,對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。2、濺射儀是否可以鍍鎳:可以鍍鎳 ?但是 鎳是導(dǎo)磁
公司名: 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 裴先生
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手 機(jī): 15136134901
微 信: 15136134901
地 址: 河南鄭州中原區(qū)鄭州**產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號(hào)6幢11單元3層73號(hào)
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