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詞條說明
????普旭真空泵的保養(yǎng):?????(1)每天對油位進(jìn)行檢查,油位過高,使溫度升高,油位過低,造成潤滑不良。每月檢查油的品質(zhì),如果變質(zhì)須馬上換。?????(2)每天檢查泵的溫升,電機(jī)負(fù)荷及溫升。????(3)定期檢查羅茨
真空泵正確使用及保養(yǎng)方法1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時,油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。?2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油,確保真空泵工作正常。?3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換真空泵油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當(dāng)延長換油
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
維護(hù)與保養(yǎng)1、潤滑油的規(guī)范及換油步驟潤滑油主要有三個作用:潤滑、密封、冷卻。潤滑作用:潤滑油可以在泵蓋、轉(zhuǎn)子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤滑油產(chǎn)生的油膜能對真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤滑油還能降低高頻壓縮所產(chǎn)生的噪音。?2、日常保養(yǎng)每日或每次運(yùn)轉(zhuǎn)
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