【工業(yè)真空泵】真空泵的日常維護(hù)

時(shí)間：2021-09-03作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：81

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• 【工業(yè)真空泵】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

• 【真空泵廠家】XD型單級(jí)旋片式真空泵的優(yōu)點(diǎn)

  XD型單級(jí)旋片式真空泵的優(yōu)點(diǎn)1、**強(qiáng)的排除水蒸氣的能力。2、出口油霧過濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置，真空泵油循環(huán)使用，無油煙，清潔、環(huán)保、省油。3、可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。4、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。5、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥。6、SV630以下為風(fēng)冷，不需要水冷，經(jīng)濟(jì)方便。7、低噪音，低振動(dòng)。8、結(jié)構(gòu)緊湊，體型小，節(jié)省空間。9、可以與各種附件配套使用，因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要

• 【真空泵廠家】真空泵的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn)應(yīng)用

  產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)1、**命葉片2、低噪音水平3、易維護(hù)4、能忍受較高水蒸氣5、保養(yǎng)周期長(zhǎng)產(chǎn)品特點(diǎn)1、低噪音,低震動(dòng),工作環(huán)境不會(huì)受影響?。2、內(nèi)置高效油霧過濾器,所排出的氣體不含油霧。????????????????? 

• 【真空泵廠家】 真空泵安裝管配及基礎(chǔ)

  真空泵的安裝1、安裝安裝場(chǎng)所寬闊、采光良好，空氣的相對(duì)濕度宜低，灰塵少，空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度：5—30攝氏度。環(huán)境壓力：大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間，真空泵與墻之間至少須有1米以上距離，真空泵空間距離應(yīng)有1米以上，預(yù)留通道，以便維修保養(yǎng)。真空泵運(yùn)作時(shí)，表面溫度可以達(dá)到72℃以上，小心燙傷。請(qǐng)確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時(shí)，管路通徑不能小于真空泵的進(jìn)氣法蘭