半自動晶圓減薄后撕膜機STK-5120

時間：2021-05-12

作者：深圳市衡鵬瑞和科技有限公司

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3軸圓柱坐標潔凈機械手臂適用于半導體，可晶圓搬運 3軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點： **潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列適用于半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，檢測設備等的晶圓搬運全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求比MHR系列具有較好的性價比優(yōu)勢機械手臂標準臂長:160mm, 200mm 適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并