詞條
詞條說(shuō)明
售前服務(wù):專(zhuān)家級(jí)設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)為您解決項(xiàng)目建設(shè)所需的鍍膜材料方案設(shè)計(jì)和咨詢(xún)工作,幫您節(jié)約投資和降低能耗;過(guò)程服務(wù):您交付的任務(wù),我們的專(zhuān)業(yè)管理團(tuán)隊(duì)按照ISO9001的質(zhì)量管理體系,做好每一個(gè)細(xì)節(jié);售后服務(wù):售后團(tuán)隊(duì)技術(shù)精湛,經(jīng)驗(yàn)豐富。
貴金屬靶材是什么?有什么?選用精練、融化煅造、壓延加工或粉未冶金工業(yè)加工工藝生產(chǎn)的半導(dǎo)體元器件、紀(jì)錄新聞媒體顯示器件等的布線(xiàn)和塑料薄膜的貴金屬以及合金的濺射靶材。Au、Pt、Pd、Ag靶材用以電子器件和規(guī)模性電子器件,CoCrPt、CoPt和CoPd等合金靶材用以磁記錄。輕貴金屬銀、釕、銠、鈀的統(tǒng)稱(chēng)。相對(duì)密度在10~12/cm中間。重貴金屬金、鋨、銥、鉑的統(tǒng)稱(chēng),相對(duì)密度在19~22g/cm3中間。
現(xiàn)階段靶材的制取關(guān)鍵有鑄造法和粉未冶金法。鑄造法:將一定成份配制的合金原材料熔煉,再將合金飽和溶液澆筑于模貝中,產(chǎn)生澆鑄,最終經(jīng)機(jī)械加工制造做成靶材,鑄造法在真空泵中熔煉、鑄造。常見(jiàn)的熔煉方式 有真空泵磁感應(yīng)熔煉、真空泵電孤熔煉和真空電子負(fù)電子熔煉等,其特點(diǎn)是靶材殘?jiān)浚ㄓ绕涫瞧w殘?jiān)浚┑?,相?duì)密度高,可進(jìn)口替代;缺陷是對(duì)溶點(diǎn)和相對(duì)密度相距過(guò)大的二種或兩種以上金屬材料,一般熔煉法難以獲得成份
新型的濺鍍?cè)O(shè)備幾乎都使用強(qiáng)力磁鐵將電子成螺旋狀運(yùn)動(dòng)以加速靶材周?chē)臍鍤怆x子化,造成靶與氬氣離子間的撞擊機(jī)率增加,提高濺鍍速率。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍,基本的原理是在真空中利用輝光放電(glow discharge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面,電漿中的陽(yáng)離子會(huì)加速?zèng)_向作為被濺鍍材的負(fù)電極表面,這個(gè)沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在基板上形成
公司名: 醴陵市利吉升新材料有限公司
聯(lián)系人: 謝小姐
電 話(huà): 0769-88039551
手 機(jī): 18681059431
微 信: 18681059431
地 址: 湖南株洲醴陵市仙岳山街道五里墩村
郵 編:
網(wǎng) 址: dgsdwxc.cn.b2b168.com
公司名: 醴陵市利吉升新材料有限公司
聯(lián)系人: 謝小姐
手 機(jī): 18681059431
電 話(huà): 0769-88039551
地 址: 湖南株洲醴陵市仙岳山街道五里墩村
郵 編:
網(wǎng) 址: dgsdwxc.cn.b2b168.com