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材料的輸運(yùn)采取了**純的氣路系統(tǒng),源的切換和輸入采用了多路組合閥進(jìn)氣技術(shù)。由于組合閥具有較小的死空間,使得源的殘留量非常少,有利于生長具有陡峭界面的材料。采用壓差控制技術(shù)控制組合閥的旁路和主路之間的壓力,大大降低了源的壓力和濃度波動(dòng),有利于材料生長的重復(fù)性和穩(wěn)定性。采用了管道鑲嵌式進(jìn)氣噴頭,使反應(yīng)源在襯底表面均勻混合并反應(yīng),大大降低了預(yù)反應(yīng)的發(fā)生。采用電阻式快速升降溫加熱爐。
真空鍍膜技術(shù)作為一種產(chǎn)生特膜層的技術(shù),在現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)生活中有著廣泛的應(yīng)用。真空鍍膜技術(shù)有三種形式:即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍膜。在這里主要講下磁控濺射鍍膜。磁控濺射技術(shù)在市場中應(yīng)用非常的廣泛,各行各業(yè)物件膜層鍍膜,大多數(shù)都是采用磁控濺射技術(shù),磁控濺射技術(shù)在真空行業(yè)也是非常的受歡迎和追捧。高真空磁控濺射鍍膜是屬于物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)的一種,一般的濺
鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司研發(fā)設(shè)計(jì)制造了熱絲CVD金剛石設(shè)備,分為實(shí)驗(yàn)型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類。設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜、硬質(zhì)合金基金剛石涂層刀具、陶瓷軸承內(nèi)孔鍍金剛石薄膜等。例如可用于生產(chǎn)制造環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的耐腐蝕金剛石導(dǎo)電電極??捎糜谄矫婀ぜ慕饎偸∧ぶ苽?,也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。平面工作尺寸圓形平面工作的尺寸:較大φ650mm
鵬城半導(dǎo)體攜熱絲CVD金剛石設(shè)備亮相碳基半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇
世界范圍的信息化浪潮正帶來**網(wǎng)絡(luò)化、國家數(shù)字化、社會(huì)智能化的整體轉(zhuǎn)變,5G、人工智能、大數(shù)據(jù)和云計(jì)算等**技術(shù)的誕生和蓬勃發(fā)展,以及向生產(chǎn)生活各層面的深度滲透,較加速推動(dòng)信息時(shí)代的快速發(fā)展。在世界數(shù)字化洶涌前行的背后,是硅基半導(dǎo)體芯片能的持續(xù)飛速提升,提供了存儲(chǔ)、運(yùn)算、網(wǎng)絡(luò)、智能的多維度底層支撐,為數(shù)字升級(jí)、智能互聯(lián)打造了堅(jiān)實(shí)的硬件基礎(chǔ)。但隨著芯片制造工藝在納米尺度逐漸逼近物理極限,硅基半導(dǎo)體芯
公司名: 鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司
聯(lián)系人: 戴朝蘭
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手 機(jī): 13632750017
微 信: 13632750017
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供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 小型 PC08 化學(xué)氣相沉積小型LPCVD設(shè)備

供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 生產(chǎn)型 PC07 化學(xué)氣相沉積LPCVD設(shè)備

供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 高真空 PC06 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD

供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 金剛石散熱晶圓片 襯底

供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 生產(chǎn)型 TGV/TSV /TMV 高真空磁控濺射鍍膜機(jī)

供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 生產(chǎn)型 高真空磁控濺射/離子輔助/多弧復(fù)合鍍膜機(jī)

生產(chǎn)型 高真空磁控濺射及離子輔助復(fù)合鍍膜機(jī)

供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 高真空磁控濺射鍍膜機(jī)
公司名: 鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司
聯(lián)系人: 戴朝蘭
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