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氧化鋁拋光粉(VK-L30F)在藍(lán)寶石襯底拋光中的應(yīng)用


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    氧化鋁拋光粉(VK-L30F)在藍(lán)寶石襯底拋光中的應(yīng)用 13305631332,qq:524915046 目前, 在藍(lán)寶石的CMP 工藝中, 常用的磨料主要包括金剛石、二氧化硅溶膠、氧化鈰和氧化鋁等磨料。 實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明,a-氧化鋁拋光粉(VK-L30F,0.3um,球型)在藍(lán)寶石拋光過程中的優(yōu)勢(shì)逐漸明顯。 金剛石只用于傳統(tǒng)的機(jī)械拋光,其硬度(莫氏10)比藍(lán)寶石(莫氏9)硬度高,容易產(chǎn)生劃傷,藍(lán)寶

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